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一、什么是磁懸浮分子泵

磁懸浮分子泵是一種利用磁懸浮技術將轉子懸浮于磁場中的真空泵。它通過高速旋轉的轉子與定子之間的分子碰撞，逐級將氣體分子從真空腔體抽出。由于沒有機械接觸，磁懸浮分子泵具有無摩擦、無污染、低維護和高可靠性的特點，廣泛應用于半導體制造、光學鍍膜、科研實驗等需要超高真空的領域。

二、磁懸浮分子泵有什么優點

• 無摩擦運行：轉子懸浮在磁場中，無機械接觸，減少磨損，延長使用壽命。

• 超潔凈真空：無油潤滑，無顆粒或油蒸氣污染，適用于高潔凈度要求的場合。

• 低維護成本：無需更換軸承或潤滑油，減少維護頻率和成本。

• 低振動和噪音：運行平穩，對精密應用友好。

• 高轉速性能：轉速更高，抽速更快，極限壓力更低。

• 高可靠性：實時監控運行狀態，穩定性強。

• 環保性：無潤滑油污染，更環保。

三、磁懸浮分子泵的選型指南

（1）抽速要求

小型實驗室設備：抽速一般在 50–300 L/s。

半導體設備或工業用途：需要更高抽速，如 500–3000 L/s。

氣體種類：針對輕質氣體（如氫、氦）或高分子量氣體，需選擇適合的分子泵。

（2）極限真空要求

超高真空應用：極限壓力需達到 10?? Pa 或更低。

普通高真空：極限壓力為 10?? Pa 左右即可滿足需求。

殘留氣體要求：選擇無油或低污染的磁懸浮分子泵以避免影響真空純度。

（3）腔體體積與抽速匹配

容積大小計算：確定腔體體積與抽速匹配時間，保證泵能在所需時間內達到目標真空度。

（4）氣體流量

確保泵能夠承受工藝中產生的氣體流量。

腐蝕性或特殊氣體處理：選用耐腐蝕設計的磁懸浮分子泵。

（5）結構與安裝方式

法蘭接口類型：選擇適合的法蘭接口（ISO-KF、ISO-F、CF）。

安裝方向：確認泵的安裝是否支持垂直或水平方向。

冷卻方式：可選擇風冷或水冷，視環境條件而定。